1、電暈放電式臭氧發生器按制造材料（通常指介電材料）可以分為：玻璃臭氧發生器，陶瓷臭氧發生器，搪瓷臭氧發生器，云母臭氧發生器等。應用最廣泛的材料是玻璃，玻璃介電體適合大型及中小型臭氧發生器。但玻璃介電體機械強度差現已陸續被其他材料替代。搪瓷介電體在大型臭氧發生器用應較多，它的特點是介質于電極于一體結構緊湊，機械強度高，臭氧產率大等特點，是高檔臭氧設備中較為優良的材料。
    2、臭氧發生器按運行頻率可分為：1.工頻臭氧發生器（工作頻率50-60Hz)；2.中頻臭氧發生器（工作頻率600-800Hz)；3.高頻臭氧發生器（1KHz-20KHZ）。高頻臭氧發生器運行效率高節約電能，現已陸續取代工頻和中頻高能耗臭氧發生器。
    3、臭氧發生器按臭氧發生量通常可分為：小型臭氧發生器（臭氧產量100g/h以下），中型臭氧發生器（臭氧產量100g/h-1000g/h)，大型臭氧發生器（臭氧產量1Kg/h以上）。
    4、臭氧發生器按冷卻方式可分為：水冷式臭氧發生器，風冷式臭氧發生器，風水雙冷式臭氧發生器，油冷式臭氧發生器，油水雙極液冷式臭氧發生器。小型低濃度臭氧發生器通常采用風冷；大中型臭氧發生器基本采用水冷；臭氧濃度高的發生器采用雙極冷卻。
    5、臭氧發生器按結構形式可分為：管式臭氧發生器，板式臭氧發生器，立式臭氧發生器，臥式臭氧發生器。小型臭氧發生器通常為管式或板式，中型臭氧發生器大多采用多管并聯，大型臭氧發生器基本以臥式為主（內部由若干只電極組成）